Atonarpプロセス制御質量分析計Aston™ 技術仕様：

リアルタイムプロセス制御の汎用ツール、耐食性ガス、凝縮防止
半導体製造の分子分析その場プラットフォームは、リアルタイム、操作可能なデータを提供する
プラズマイオン化源を採用し、フィラメントがなく、より耐久性が高い
大量の生産ツールと完全に統合可能
Aston™ プロセス質量分析計強大なプラットフォームとして、多種の伝統的なツールに取って代わることができて、前例のない制御レベルを提供して、リソグラフィ、誘電体と導電性エッチングと堆積、チャンバの清潔、チャンバの整合と分解を含む.

Aston™ プロセス質量分析計技術パラメータ

Atonarp Aston™ 応用：半導体プロセスの制御と最適化の重要な発展、半導体製造プロセスの生産量、スループットと効率を高める
Aston™ 半導体製造と工業プロセス制御応用におけるガスモニタリングと制御に適し、高定量精度とリアルタイム性と生産安定性と信頼性を結合し、例えば半導体dry pump排ガス検出分析、オンラインモニタリング、診断を実現するために、新しく設計された堅牢で耐久性のある小型オンライン質量分析計である。
CVD/ALD：酸化物−窒化物遷移及び成分分析
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching：追跡分子の識別


詳細については、Atonarp Aston™ オンライン質量分析計詳細またはディスカッションについては、次の連絡先を参照してください。
上海伯東：葉さん台湾伯東：王さん
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
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